Variables Dreikammersystem Einschleuse-, Transfer- und Prozesskammer – letztere auf Wunsch auch in mehrfacher Ausführung – bilden zusammen eine perfekt sitzende Clusteranlage. Auch beim Innenleben ist der Kunde König: Neben Standardkomponenten wie thermischen oder Elektronenstrahlverdampfern, Equipment zur Substratreinigung und Sputterquellen sind auch Spezialeinbauten kein Problem. Die elektrische Versorgung befindet sich diskret im 19“-Schaltschrank.
Forschung und Pilotproduktion mit Anlagen von der Stange? Schwer denkbar. Die Univex 450C ist Oerlikon Leybold Vacuums maßgeschneidertes Dreikammersystem für die Vakuumbeschichtung. * Text: Marius Schaub, P&A FOTOS: Dominik Gierke (P&A)
Flexibles Innenleben Zwei Prozesskammern mit Sputterquellen, eigenem Gaseinlass und Hochtemperatursubstratheizung mit RF-Bias.
Vielfältiger Materialmix Die Univex hat sich ganz der Herstellung von Funktionsschichten und Schichtsystemen bei vollautomatischem Ablauf verschrieben. Ihre Pumpsysteme bieten eine breite Palette verschiedenster Prozesse.
Perfekter Sitz - Auch die Einschleusekammer besitzt ihre eigene Turbomolekularpumpe und Vorvakuumpumpe. In Sachen Leistung und Typ werden sie ganz dem Prozess angepasst.
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